一、激光腔室壓力控制技術(shù)概述

在激光設(shè)備腔體工藝供氣場景中，行業(yè)常規(guī)普遍采用質(zhì)量流量控制器實現(xiàn)氣體流量管控。而本文介紹的激光室壓力控制方案，采用壓力精準調(diào)控搭配固定節(jié)流小孔的控制邏輯，可替代傳統(tǒng)流量控制方式，實現(xiàn)穩(wěn)定、可重復(fù)、高一致性的腔室供氣效果，是高性價比的激光腔體氣路控制解決方案。

整套系統(tǒng)核心采用三站歧管安裝式SPV壓力控制組件，可同時精準管控三路不同工藝氣體，所有氣體經(jīng)由固定尺寸、參數(shù)已知的精密小孔流通。依托流體力學(xué)原理，在孔口尺寸、氣體密度恒定的前提下，通過精準調(diào)節(jié)小孔前端壓力，即可穩(wěn)定改變氣體流通流量，全程流量輸出可預(yù)測、可標定、可重復(fù)，適配激光腔體常態(tài)化供氣工藝。

相較于傳統(tǒng)每路氣體單獨配置質(zhì)量流量控制器的方案，本套激光腔室壓力控制系統(tǒng)在精度區(qū)間滿足絕大多數(shù)激光工藝需求的同時，大幅降低設(shè)備采購與運維成本，結(jié)構(gòu)更簡潔、運行更穩(wěn)定，性價比優(yōu)勢突出，可實現(xiàn)優(yōu)質(zhì)的腔體供氣控制效果。

同時，系統(tǒng)搭配QB3電子壓力控制閥協(xié)同工作，通過精準調(diào)控激光腔室內(nèi)真空度，穩(wěn)定腔體內(nèi)部背壓環(huán)境，助力多路工藝氣體均勻混合，有效提升激光腔體內(nèi)部氣體配比精度與工藝穩(wěn)定性，保障激光設(shè)備持續(xù)穩(wěn)定運行。

二、SPV緊湊型高分辨率壓力閥｜精密小孔壓力控制核心部件

SPV緊湊型高分辨率壓力閥是專為精密低壓控制、微量氣體輸送場景研發(fā)的比例壓力控制閥門，摒棄傳統(tǒng)開關(guān)式電磁閥的檔位級差缺陷，采用單變量孔閥結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)連續(xù)無級比例壓力調(diào)節(jié)，壓力調(diào)節(jié)步長精細、重復(fù)性高，是激光室壓力控制、精密載氣、低壓檢漏、微量點膠等敏感工藝的核心優(yōu)選配件。

該閥門采用輕量化緊湊型設(shè)計，精簡冗余結(jié)構(gòu)與體積重量，在小巧機身的基礎(chǔ)上，對標大型QPV系列壓力閥的高性能控制標準，兼顧小巧安裝尺寸與高精度控制能力。值得注意的是，SPV單比例電磁閥無下游排氣泄壓功能，專屬適配下游介質(zhì)持續(xù)消耗、恒流填充穩(wěn)壓的工況，適配激光腔體持續(xù)供氣的工藝場景。

SPV壓力閥核心技術(shù)參數(shù)

三、QB3電子壓力控制閥｜激光腔體真空穩(wěn)壓與氣體混合輔助系統(tǒng)

QB3壓力控制閥是一體化集成式電子壓力調(diào)節(jié)套件，集成雙電磁閥、智能控制電路、高精度壓力傳感器、氣動增壓器與防護機身，是激光腔室真空控制、壓力穩(wěn)壓、氣體配比混合的核心輔助設(shè)備。設(shè)備支持全真空至150 PSI寬域壓力調(diào)節(jié)，大流量輸出可滿足各類激光腔體大容量供氣需求。

產(chǎn)品采用一體式緊湊結(jié)構(gòu)，節(jié)省設(shè)備安裝空間，內(nèi)置閉環(huán)壓力反饋系統(tǒng)，壓力傳感器實時采集腔體壓力數(shù)據(jù)，并與設(shè)定指令信號實時比對，動態(tài)精準調(diào)節(jié)壓力，實現(xiàn)高精度閉環(huán)穩(wěn)壓。同時配備模擬監(jiān)測信號，可實時可視化展示腔體壓力運行狀態(tài)，方便設(shè)備調(diào)試與工藝監(jiān)控。

QB3壓力閥安裝靈活性強，常規(guī)工況可任意角度安裝；僅全量程壓力低于10 PSI工況需垂直安裝。設(shè)備具備優(yōu)秀的抗沖擊、抗振動能力，可適配復(fù)雜工業(yè)惡劣工況。整機采用標準O形圈密封結(jié)構(gòu)，維修拆解簡單、運維成本低，同時支持個性化定制改裝，可滿足各類高gao端激光設(shè)備苛刻工藝需求。

QB3壓力控制閥核心技術(shù)參數(shù)

四、整套激光室壓力控制方案核心優(yōu)勢

• 高性價比替代方案：摒棄多路昂貴質(zhì)量流量控制器，采用壓力+小孔節(jié)流控制邏輯，在保障工藝精度的同時，大幅降低設(shè)備投入成本。

• 控制穩(wěn)定可重復(fù)：SPV超高重復(fù)精度搭配QB3閉環(huán)穩(wěn)壓，氣體流量、腔體壓力、真空度高度穩(wěn)定，適配激光量產(chǎn)工藝。

• 結(jié)構(gòu)緊湊易安裝：兩款設(shè)備均為輕量化集成設(shè)計，支持多種安裝方式，適配各類激光設(shè)備機身集成，節(jié)省安裝空間。

• 工業(yè)適配性強：抗沖擊、抗振動、寬溫工作設(shè)計，適配工業(yè)車間復(fù)雜工況，故障率低、運維簡單。

• 工藝適配廣泛：覆蓋真空至150PSI寬域壓力、大小流量全覆蓋，可滿足各類激光腔體供氣、氣體混合、精密穩(wěn)壓需求。

這套系統(tǒng)主要應(yīng)用在半導(dǎo)體光刻、晶圓刻蝕、PCB 鉆孔、眼科醫(yī)療（308nm 紫外治療）、精密微加工等設(shè)備里， 如有需求，歡迎聯(lián)系天津聯(lián)科思創(chuàng)科技發(fā)展有限公司。